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納米壓印設(shè)備制造行業(yè)正處于一個充滿機遇與挑戰(zhàn)的發(fā)展階段。在技術(shù)層面,納米壓印技術(shù)憑借其高分辨率、低成本、可大規(guī)模復(fù)制等優(yōu)勢,得到了廣泛的關(guān)注。納米壓印設(shè)備制造行業(yè)也在朝著更高的精度、更大的產(chǎn)量以及更穩(wěn)定的性能方向發(fā)展。目前的設(shè)備能夠制造出納...
光學膜厚儀是一種非接觸式測量儀器,一般會運用在生產(chǎn)廠商大量生產(chǎn)產(chǎn)品的過程,由于誤差經(jīng)常會導(dǎo)致產(chǎn)品全部報廢,這時候就需要運用光學膜厚儀來介入到生產(chǎn)環(huán)境,避免這種情況的發(fā)生。光學膜厚儀的光學機械組件:1、光源:寬光譜光源;2、探測器:高靈敏度低噪音陣列式光譜探測器;3、控制箱:含電路板、控制單元、電源、光源;4、輸出設(shè)備:軟件界面支持輸出、輸入光譜數(shù)據(jù)庫。系統(tǒng)特點:1、嵌入式在線診斷方式;2、免費離線分析軟件;3、精細的歷史數(shù)據(jù)功能,幫助用戶有效地存儲,重現(xiàn)與繪制測試結(jié)果;4、主...
隨著光學在各個領(lǐng)域當中的應(yīng)用,使得它也能為測厚行業(yè)里帶來貢獻。其中就有大眾所知的光學膜厚儀。它利用光學的特點,能夠直接檢測出物件涂層、或者是其它物件的厚度。該儀器所使用的原理,便是光的折射與反射。這種儀器在使用時,擺放在物件的上方,從儀器當中發(fā)射了垂直向下的可視光線。其中一部分光會在膜的表面形成一個反射,另一部分則會透過儀器的薄膜,在薄膜與物件之間的界面開成反射,這個時候,薄膜的表面,以及薄膜的底部同時反射的光會造成干涉的現(xiàn)象。儀器便是利用了這樣的一種現(xiàn)象,從而測量出物件的厚...
作為光刻工藝中zuì重要設(shè)備之一,接觸式光刻機一次次革命性的突破,使大模集成電路制造技術(shù)飛速向前發(fā)展。了解提高接觸式光刻機性能的關(guān)鍵技術(shù)以及了解下一代光刻技術(shù)的發(fā)展情況是十分重要的。光刻意思是用光來制作一個圖形(工藝);在硅片表面勻膠,然后將掩模版上的圖形轉(zhuǎn)移光刻膠上的過程將器件或電路結(jié)構(gòu)臨時“復(fù)制”到硅片上的過程。一般的光刻工藝要經(jīng)歷硅片表面清洗烘干、涂底、旋涂光刻膠、軟烘、對準曝光、后烘、顯影、硬烘、刻蝕等工序。接觸式光刻機是集成電路芯片制造的關(guān)鍵核心設(shè)備。光刻機是微電子...
光學膜厚儀是利用薄膜干涉光學原理,對薄膜進行厚度測量及分析。用從深紫外到近紅外可選配的寬光譜光源照射薄膜表面,探頭同位接收反射光線。光學膜厚儀根據(jù)反射回來的干涉光,用反復(fù)校準的算法快速反演計算出薄膜的厚度。測量范圍1nm-3mm,可同時完成多層膜厚的測試。對于100nm以上的薄膜,還可以測量n和k值。應(yīng)用領(lǐng)域:半導(dǎo)體制造業(yè),光刻膠、氧化物、硅或其他半導(dǎo)體膜層的厚度測量;生物醫(yī)學原件:聚合物/聚對二甲苯;生物膜/球囊壁厚度;植入藥物涂層;微電子:光刻膠;硅膜;氮化鋁/氧化鋅薄膜...
掩模對準曝光機是指通過開啟燈光發(fā)出UVA波長的紫外線,將膠片或其他透明體上的圖像信息轉(zhuǎn)移到涂有感光物質(zhì)的表面上的機器設(shè)備。該儀器可廣泛應(yīng)用于半導(dǎo)體、微電子、生物器件和納米科技領(lǐng)。技術(shù)數(shù)據(jù):掩模對準曝光機以其多功能性和可靠性而著稱,在小的占位面積上結(jié)合了先進的對準功能和優(yōu)化的總體擁有成本,提供了先進的掩模對準技術(shù)。它是光學雙面光刻的理想工具,可提供半自動或自動配置以及可選的全覆蓋Gen2解決方案,以滿足大批量生產(chǎn)要求和制造標準。擁有操作員友好型軟件,短的掩模和工具更換時間以及高...